欢迎光临~苏州捷纳特精密科技有限公司
语言选择: 中文版 ∷  英文版

新闻

光伏产业等离子应用

导读: 光伏产业对清洁生产的要求非常苛刻。太阳能级的硅片虽然纯净度不需要达到电子级,但是6个9的纯度也还是很高的。在切片等过程中,硅片或多或少会接触到各种污染源,因此清洗显得至关重要。等离子清洗是经常用到的一种方法。

这些自由基会进一步与材料表面作反应。

其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应,在压力较高时,对自由基的产生较有利,所以若要以化学反应为主时,就必须控制较高的压力来近进行反应。

(2)物理反应(Physical reaction)

主要是利用等离子体里的离子作纯物理的撞击,把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉,由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长,有得能量的累积,因而在物理撞击时,离子的能量越高,越是有的作撞击,所以若要以物理反应为主时,就必须控制较的压力下来进行反应,这样清洗效果较好,为了进一步说明各种设备清洗的效果,我们作了各种对比试验,具体见表1。

从以上的表可以说明,由于半导体电子元件日益缩小,半导体封装技术的要求也越来越严格,因此,封装厂在打线及封胶前,使用等离子体清洗机来基板的干式清洁方法,已成为目前必要的步骤,包括IC、LED、PCB、LCD等元件封装厂商,正逐渐将等离子体清洗视为基本配置。目前国内外市面上的等离子体清洗机除了包含晖盛科技之二家厂商的产品外,其余均只能使用适用于侧面有开槽的弹匣,以达清洗效果,应用开槽的弹匣有数项缺点,除了可摆放的基板数量较少外,所开的槽也可能因等离子体暗区的原理而阻挡等离子进入弹匣清洗基板,而影响清洁的效果,另外,一般封装制程皆使用不开槽的弹匣,因此将不开槽与开槽的弹匣互换,会变成等离子体清洁前后必须的繁复动作,除了容易提高成本,可能使基板再次受污染及受损外,并会使生产效率降低,此外,晖盛生产的等离子体清洗机更具备多样气体及基板适用性、低气体用量及高产量等特点。

没有上一个下一个:等离子体应用

栏目导航

联系我们

CONTACT US

联系人:邹先生

手机:+86-18912605298

电话:+86-0512-62539529

邮箱:sales@plasmatechnics.com.cn

地址: 苏州市工业园区金浦路11号